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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 型号 |
| 蒸发载具 | 其他物资 | 2.0个 | 2.0个 | 定制（316挂板+晶圆基座） |
| 石英外管 | 其他物资 | 2.0个 | 2.0个 | 型号：长2450mm，外径240mm，壁厚5mm，直通，外管 |
| 石英内管 | 其他物资 | 2.0个 | 2.0个 | 图纸型号：****1120 |
| 热偶套管 | 其他物资 | 10.0个 | 10.0个 | 型号：长2000mm，外径10mm，壁厚1mm，一端直通、一端实心的热偶套管 |
| 氮化硅弥散管 | 其他物资 | 6.0个 | 6.0个 | 型号：010/1.5-915 |
| 热偶套管 | 其他物资 | 6.0个 | 6.0个 | 型号：012/8*1915mm |
| 石英外管 | 其他物资 | 2.0个 | 2.0个 | 型号：长2500mm，外径250mm，壁厚5mm，直通，外管 |
| 多晶硅炉内管 | 其他物资 | 2.0个 | 2.0个 | 型号：长2450mm，外径235mm，壁厚5mm，直通，内管 |
| LPCVD石英套件 | 其他物资 | 3.0个 | 3.0个 | 定制件 型号：八寸LPCVD石英套件定制； 要求：按照设备上备件尺寸定制全新件； 进口石英材料 |
