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| 商品名称 | 品类 | 采购数量 | 最少响应量 | 规格型号 | 设备相关 |
| KF50三通阀组件 | 其他 | 4.0个 | 4.0个 | 型号:P095-0107,包含SMC换向阀KS534S,要求全新 | 设备名称:尾气处理机;设备型号:电热水洗式NSHW600 |
| 石英舟 | 其他 | 1.0个 | 1.0个 | 型号:BFDZ-6B-004 | 设备名称:卧式氧化炉;设备型号:6100D |
| 石英舟 | 其他 | 1.0个 | 1.0个 | 型号:BFDZ-6B-005 | 设备名称:卧式氧化炉;设备型号:6100D |
| 石英舟 | 其他 | 1.0个 | 1.0个 | 型号:BFDZ-6B-006 | 设备名称:卧式氧化扩散炉;设备型号:SVG5200 |
| 固态继电器 | 其他 | 3.0个 | 3.0个 | 型号:CRYDOM HD48125 INPUT3-32VDC OUTPUT480VAC125A | 设备名称:栅区氧化批化学清洗机;设备型号:FSI MERCURY |
| 大阀加热带 | 其他 | 1.0个 | 1.0个 | 型号:****007,包含加热带控制器 | 设备名称:低应力LPCVD;设备型号:DF5200-6 |
| S弯管加热带 | 其他 | 1.0个 | 1.0个 | 型号:****008,包含加热带控制器 | 设备名称:低应力LPCVD;设备型号:DF5200-6 |